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简要描述:晶圆检测系统结合了德国Leica公司的光学显微镜,解决了半导体客户对8英寸及以下尺寸晶圆、第1/2/3代半导体材料晶圆传送和光学检测需求。该系统可以兼容第一~第三代材料,不透明材质半透明全透明材质的晶圆。该系统可以升级成为全自动检测系统(可以选配AOI/AI智能检测软件),可以针对特殊工艺晶圆、特殊标记Mark、双平边晶圆等进行相应的扩展或者改造,可以选配SMIF系统、SECS/GEM。

  • 产品型号:KINO LOADER
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-12-02
  • 访  问  量:100

详细介绍

晶圆检测系统结合了德国Leica公司的光学显微镜,解决了半导体客户对8英寸及以下尺寸晶圆、第1/2/3代半导体材料晶圆传送和光学检测需求。该系统可以兼容第一~第三代材料,不透明材质\半透明\全透明材质的晶圆。该系统可以升级成为全自动检测系统(可以选配AOI/AI智能检测软件),可以针对特殊工艺晶圆、特殊标记Mark、双平边晶圆等进行相应的扩展或者改造,可以选配SMIF系统、SECS/GEM。

本设备整体兼容6&8英寸晶圆,适用于硅片(不透明材质)、碳化硅及其它透明/半透明材质晶圆片。设备可识别Flat\Notch,支持晶圆厚度范围:8英寸300um~1000um / 6英寸200um~1000um。

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