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徕卡3D表面轮廓测量仪的分析步骤介绍

更新时间:2023-02-06      点击次数:417
   徕卡3D表面轮廓测量仪是以白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。以非接触的扫描方式,实现针对样品表面的超高重复精度的3D测量,获取表征样品表面质量的2D、3D数据。因此,可广泛应用于对器件表面质量要求高的半导体、3C电子屏蒂等器件、太阳能印刷薄膜、光学加工、超精密加工、纳米材料等工业企业领域,以及高校、计量院所、科研院所等计量、研究性质单位。
 
  1.将样品放置在载物台镜头下方;
 
  2.检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;
 
  3.使用操纵杆调节Z轴,找到样品表面干涉条纹;
 
  4.微调XY轴,找到待测区域,并重新找到干涉条纹;
 
  5.完成扫描设置和命名等操作;
 
  6.点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);
 
  7.台阶样品分析第一步:校平
 
  8.进入数据处理界面,点击“校平”图标,和平面样品不同,台阶样品需手动选取基准区域,选好基准区域后,先“全部排除”再“包括”;
 
  9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致,可多选择几个区域作为基准面进行校平;
 
  10.台阶高度测量:线台阶高度测量
 
  11.进入分析工具界面,点击“台阶高度”图标,即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据;
 
  12.在右侧点击“手动检测”,根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域,数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值;
 
  13.台阶高度测量:线台阶高度测量
 
  14.进入数据处理界面,点击“提取剖面”图标,使用合适方向的剖面线,提取目标位置的剖面轮廓曲线;
 
  15.进入分析工具界面,点击“台阶高度”图标,由于所测为中间凹槽到两侧平面高度,因此点击右侧工具栏,测量条对数选择“2”,将红色基准线对放置到凹槽平面中间,两对测量线对分别放置在两侧平面,即可在数据缆读取台阶高度数据。

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